Defect structure of tin-doped inas single crystals grown by the Czochralski method

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Indium arsenide (InAs) single crystals heavily doped with Sn are found to have various violations of structural perfection, which depend on the Sn concentration in different regions of crystal. At low charge-carrier (electron) concentrations (~1.5 × 1018 cm–3) an unusual annular distribution of dislocations in the cross section is observed for the initial parts of crystal. The dislocation density lies in the range of (0.1–1.0) × 104 cm–2. At a carrier concentration above 4.0 × 1018 cm–3 indium inclusions and “vicinal growth hillocks” are observed in the final parts of crystals. The dislocation density in the final cross sections of crystals, in which the aforementioned defects are not observed, is in the range of (0.4–2.1) × 104 cm–2.

Толық мәтін

Рұқсат жабық

Авторлар туралы

N. Sanjarovskii

The State Research and Design Institute of the Rare Metal Industry (JSC Giredmet)

Email: P_Yugov@mail.ru
Ресей, 111524 Moscow

I. Parfenteva

The State Research and Design Institute of the Rare Metal Industry (JSC Giredmet)

Email: P_Yugov@mail.ru
Ресей, 111524 Moscow

T. Yugova

The State Research and Design Institute of the Rare Metal Industry (JSC Giredmet)

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: P_Yugov@mail.ru
Ресей, 111524 Moscow

S. Knyazev

The State Research and Design Institute of the Rare Metal Industry (JSC Giredmet)

Email: P_Yugov@mail.ru
Ресей, 111524 Moscow

Әдебиет тізімі

  1. Карандашев С.А., Матвеев Б.А., Ременный М.А. // Физика и техника полупроводников. 2019. Т. 53. С. 147. https://doi.org/10.21883/FTP.2019.02.47090.8799
  2. Зотова Н.В., Ильинская Н.Д., Карандашев С.А. и др. // Физика и техника полупроводников. 2008. Т. 42. Вып. 6. С. 26. https://doi.org/10.1134/S1063782608060018 https://www.shalomeo.com/Wafers-and-Substrates/InAs-Semi-Growth/product-936.html
  3. Abrachams M.S., Buiocchi C.J. // J. Appl. Phys. 1965. V. 36. P. 2855. https://doi.org/10.1063/1.1714594
  4. Шифрин С.С., Мильвидский М.Г., Освенский В.Б. // Кристаллография. 1982. Т. 27. Вып. 4. С. 712.
  5. Мильвидский М.Г., Освенский В.Б. // Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников. М.: Металлург, 1984. С. 5. https://www.studmed.ru/milvidskiy-m-g-osvenskiy-v-b-strukturnye-defekty-v-monokristallah-poluprovodnikov_6a780cf3b60.html
  6. Мильвидский М.Г., Освенский В.Б. // Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников. М.: Металлург, 1984. С. 188. https://www.studmed.ru/milvidskiy-m-g-osvenskiy-v-b-strukturnye-defekty-v-monokristallah-poluprovodnikov_6a780cf3b60.html

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
2. Fig. 1.

Жүктеу (237KB)
3. Fig. 2.

Жүктеу (168KB)
4. Fig. 3.

Жүктеу (253KB)
5. Fig. 4.

Жүктеу (239KB)
6. Fig. 5.

Жүктеу (242KB)
7. Fig. 6.

Жүктеу (265KB)

© Russian Academy of Sciences, 2024