Прибор для определения контура видимой части оптических элементов (контурограф)

В работе предложен прибор для определения контура видимой части оптических элементов (контурограф), предназначенный для точного соотнесения координат видимой области оптической детали с ее физическими габаритами. Разработанный прибор обеспечивает определение координат обрабатываемой поверхности с точностью до 2.5 мкм, что является необходимым для проведения высокоточной ионно-пучковой обработки. Контурограф способен прописывать контуры объектов произвольной формы, включая криволинейные, а также контуры объектов, ориентированных под произвольным углом относительно линейных моторизированных трансляторов прибора. Высокая точность определения положения обрабатываемой поверхности непосредственно влияет на качество ионно-пучковой обработки, что позволяет значительно улучшить характеристики оптического элемента и, как следствие, оптической системы в целом. В ходе проведенной работы контурограф был успешно применен при изготовлении подложки для элемента двухзеркального монохроматора для станции 1-1 “Микрофокус” строящегося синхротрона IV поколения “СКИФ” (Новосибирск, Россия), что демонстрирует его практическую значимость и эффективность. Благодаря использованию контурографа удалось получить оптическую поверхность с требуемыми характеристиками, среднеквадратическое отклонение формы поверхности от требуемой плоскости было снижено в 25 раз — с исходных 25.7 нм до 1.0 нм.