Поиск

Выпуск
Название
Авторы
Том 52, № 4 (2023)
Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2
Ефремов А.М., Бобылев А.В., Kwon K.
PDF
(Rus)
Том 52, № 5 (2023)
О влиянии малых добавок F2, H2 и HF на концентрации активных частиц в плазме тетрафторметана
Ефремов А.М., Смирнов С.А., Бетелин В.Б.
PDF
(Rus)
Том 53, № 4 (2024)
Плазмохимическое и реактивно-ионное травление арсенида галлия в среде дифтордихлорметана с гелием
Мурин Д.Б., Чесноков И.А., Гогулев И.А., Анохин А.Л., Молоскин А.Е.
PDF
(Rus)
Том 53, № 6 (2024)
Параметры плазмы и кинетика травления Si/SiO2 в смесях фторуглеродных газов с аргоном и гелием
Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.-.
PDF
(Rus)
Том 52, № 1 (2023)
Контроль параметров травления кремния в вч плазме CHF3 методом оптической эмиссионной спектроскопии
Мурин Д.Б., Чесноков И.А., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М.
PDF
(Rus)
Том 52, № 2 (2023)
Параметры плазмы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 и Si3N4 в смеси HBr/Cl2/Ar
Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K.
PDF
(Rus)
1 - 6 из 6 результатов
Подсказки:
  • Ключевые слова чувствительны к регистру
  • Английские предлоги и союзы игнорируются
  • По умолчанию поиск проводится по всем ключевым словам (агенс AND экспериенцер)
  • Используйте OR для поиска того или иного термина, напр. образование OR обучение
  • Используйте скобки для создания сложных фраз, напр. архив ((журналов OR конференций) NOT диссертаций)
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки, напр. "научные исследования"
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или оператора NOT; напр. конкурс -красоты или же конкурс NOT красоты
  • Используйте * в качестве версификатора, напр. научн* охватит слова "научный", "научные" и т.д.