V.B. Aleskovskii's Leading Scientific Highly Organized Substance Chemistry School: from Fundamental Research to Widespread Practical Implementation

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

The current state of research conducted within the framework of the leading scientific school of V.B. Aleskovskii “Chemistry of Highly Organized Substances” is presented, including both new fundamental and applied results on the synthesis of innovative solid-phase materials by molecular layering and the most promising areas of their implementation in industry, as well as achievements in the development of hardware and technological design of the molecular layering process.

Full Text

Restricted Access

About the authors

A. A. Malygin

Saint Petersburg State Institute of Technology

Author for correspondence.
Email: malygin@lti-gti.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

A. A. Malkov

Saint Petersburg State Institute of Technology

Email: malygin@lti-gti.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

E. A. Sosnov

Saint Petersburg State Institute of Technology

Email: malygin@lti-gti.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

References

  1. Устюжанина Е.В., Евсюков С.Г., Петров А.Г. и др. Научная школа как структурная единица научной деятельности. М.: ЦЭМИ РАН, 2011. 73 с.
  2. Алесковский В.Б. Остовная гипотеза и опыт приготовления некоторых активных твердых тел. Дис. … д-ра хим. наук. Л., 1952. 374 с.
  3. Алесковский В.Б., Кольцов С.И. // НТК ЛТИ им. Ленсовета. Л.: ЛТИ им. Ленсовета, 1965. С. 67.
  4. Кольцов С.И. Синтез твердых веществ методом молекулярного наслаивания. Дис. … д-ра хим. наук. Л., 1971. 383 с.
  5. Hanke W.V., Bienert R., Jerschkewitz H.-G. // Z. Anorg. Allg. Chem. 1975. V. 414. № 2. P. 109. https://doi.org/10.1002/zaac.19754140203
  6. Damyanov D., Mekhandzhiev D. // Изв. химия Бълг. АН. 1976. Т. 9. № 2. С. 294.
  7. Ольман Г. // Изв. химия Бълг. АН. 1980. Т. 18. № 1. С. 48.
  8. Suntola T., Pakkala A., Lindfors S. Pat. FI 57975 C. Publ. 10.11.1980. Menetelmä ja laite yhdisteohutkalvojen kasvatuksessa - Förfarande och anordning vid uppbyggande av tuna föreingshinnor.
  9. Айдла A.K., Таммак A.-A.А. // Ученые записки Тартусского ун-та. Тарту, 1983. Вып. 655. С. 120.
  10. Öhlmannd G. // Z. Chem. 1984. V. 24. № 5. P. 161. https://doi.org/10.1002/zfch.19840240502
  11. Multia J., Karppinen M. // Adv. Mater. Interfaces. 2022. V. 9. № 15. P. 2200210. https://doi.org/10.1002/admi.202200210
  12. Нанотехнология в ближайшем десятилетии: Прогноз направления исследований / Под ред. Роко М.К., Уильямса Р.С., Аливисатоса П. М.: Мир, 2002. 291 с.
  13. Aarik J., Aav J., Ahvenniemi E. et al. // EuroCVD 22 - Baltic ALD 16 Conf. June 24–28, 2019. Luxembourg, 2019. P. 1.
  14. Малыгин А.А. Теоретические и экспериментальные основы технологии модифицирования поверхности дисперсных и пористых материалов методом молекулярного наслаивания. Дис. ... д-ра хим. наук. Л., 1991. 413 с.
  15. Малыгин А.А., Малков А.А., Соснов Е.А. // Изв. АН. Сер. хим. 2017. № 11. С. 1939.
  16. Кольцов С.И., Малыгин А.А., Малков А.А., Соснов Е.А. Фундаментальные и прикладные основы нанотехнологии молекулярного наслаивания. СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2021. 279 с.
  17. Malygin A.A., Drozd V.E., Malkov A.A., Smirnov V.M. // Chem. Vap. Deposition. 2015. V. 21. № 10–12. P. 216. https://doi.org/10.1002/cvde.201502013
  18. Ahvenniemi E., Akbashev A.R., Ali S. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2017. V. 35. № 1. P. 010801. https://doi.org/10.1116/1.4971389
  19. Соснов Е.А., Малков А.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 8. С. 967. https://doi.org/10.31857/S0044461821080028
  20. Дроздов Е.О., Дубровенский С.Д., Малыгин А.А. // Журн. общей химии. 2020. Т. 90. № 5. С. 795. https://doi.org/10.31857/S0044460X20050212
  21. Drozdov E.O., Buzina D.V., Malkov A.A., Malygin A.A. // Russ. J. Gen. Chem. 2022. V. 92. № 12. P. 2870. https://doi.org/10.1134/S1070363222120398
  22. Drozdov E.O., Dubrovenskii S.D. // New Materials: Preparation, Properties and Applications in the Aspect of Nanotechnology / Eds. Syrkov A.G., Levine K.L. N.Y.: Nova Science Publishers, 2020. P. 65.
  23. Фадеев А.В., Руденко К.В. // Журн. тех. физики. 2018. Т. 88. № 8. С. 1264. https://doi.org/10.21883/JTF.2018.08.46319.2625
  24. Анисимов К.С., Малков А.А., Малыгин А.А. // Журн. общей химии. 2014. Т. 84. № 12. С. 1954.
  25. Bodalyov I.S., Malkov A.A., Maslennikova T.P. et al. // Mater. Today Chem. 2019. V. 11. P. 156. https://doi.org/10.1016/j.mtchem.2018.10.013
  26. Sosnov E.A., Malkov A.A. // Chemisorption: Properties, Reactions and Uses / Ed. Norup M. NY: Nova Science Publishers, 2019. P. 29.
  27. Malkov A.A., Sosnov E.A., Malygin A.A. // Adv. Materials Sci. Res. 2022. V. 55. P. 1.
  28. Малков А.А., Кукушкина Ю.А., Соснов Е.А., Малыгин А.А. // Неорган. материалы. 2020. Т. 56. № 12. С. 1303. https://doi.org/10.31857/S0002337X2012012X
  29. Малков А.А., Васильева К.Л., Альмяшева О.В., Малыгин А.А. // Журн. общей химии. 2016. Т. 86. № 5. С. 736.
  30. Малков А.А., Чернякова Н.В., Числов М.В., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2017. Т. 90. № 5. С. 545.
  31. Абдулагатов А.И., Оруджев Ф.Ф., Рабаданов М.Х., Абдулагатов И.М. // Журн. прикл. химии. 2016. Т. 89. № 8. С. 1015.
  32. Ежовский Ю.К., Михайловский С.В. // Микроэлектроника. 2022. Т. 51. № 2. С. 110. https://doi.org/10.31857/S0544126922020053
  33. Ежовский Ю.К. // Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 2. С. 106. https://doi.org/10.1134/S0544126919020030
  34. Малыгин А.А., Антипов В.В., Кочеткова А.С., Буймистрюк Г.Я. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 1. С. 17.
  35. Ежовский Ю.К. // Журн. физ. химии. 2014. Т. 88. № 9. С. 1413. https://doi.org/10.7868/S0044453714090155
  36. Ежовский Ю.К., Захарова Н.В. // Микроэлектроника. 2016. Т. 45. № 1. С. 21. https://doi.org/10.7868/S054412691601004X
  37. Ежовский Ю.К., Михайловский С.В. // Журн. физ. химии. 2018. Т. 92. № 3. С. 439. https://doi.org/10.7868/S004445371803007X
  38. Ежовский Ю.К., Михайловский С.В. // Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 4. С. 272. https://doi.org/10.1134/S0544126919030049
  39. Абдулагатов А.И., Рабаданов М.Х., Абдулагатов И.М. // Микроэлектроника. 2020. Т. 49. № 6. С. 413. https://doi.org/10.31857/S0544126920050026
  40. Абдулагатов А.И., Рамазанов Ш.М., Даллаев Р.С. и др. // Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 2. С. 131. https://doi.org/10.7868/S0544126918020059
  41. Абдулагатов А.И., Амашаев Р.Р., Ашурбекова К.Н. и др. // Журн. общей химии. 2018. Т. 88. № 8. С. 1381. https://doi.org/10.1134/S0044460X18080231
  42. Земцова Е.Г., Морозов П.Е., Семенов Б.Н. и др. // Журн. общей химии. 2019. Т. 89. № 1. С. 162. https://doi.org/10.1134/S0044460X1901027X
  43. Кочеткова А.С., Семенова В.А., Соснов Е.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2020. Т. 93. № 8. С. 1150. https://doi.org/10.31857/S0044461820080113
  44. Радюк Е.А., Соснов Е.А., Малыгин А.А. и др. // Журн. прикл. химии. 2019. Т. 92. № 8. С. 1036. https://doi.org/1134/S0044461819080115
  45. Абдулагатов А.И., Максумова А.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 7. С. 835. https://doi.org/10.31857/S0044461821070045
  46. Абдулагатов А.И., Максумова А.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. общей химии. 2022. Т. 92. № 8. С. 1310. https://doi.org/10.31857/S0044460X22080182
  47. Максумова А.М., Абдулагатов И.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. физ. химии. 2022. Т. 96. № 10. С. 1490. https://doi.org/10.31857/S0044453722100181
  48. Максумова А.М., Бодалёв И.С., Сулейманов С.И. и др. // Неорган. материалы. 2023. Т. 59. № 4. С. 384. https://doi.org/10.31857/S0002337X2304005X
  49. Абдулагатов А.И., Ашурбекова К.Н., Ашурбекова К.Н. и др. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 3. С. 305.
  50. Ashurbekova K., Abdulagatov I., Abdulagatov A. et al. // Chem. Commun. 2020. V. 56. № 62. P. 8778. https://doi.org/10.1039/d0cc04195e
  51. Амашаев Р.Р., Абдулагатов И.М., Рабаданов М.Х., Абдулагатов А.И. // Журн. физ. химии. 2021. Т. 95. № 7. С. 1078. https://doi.org/10.31857/S0044453721070049
  52. Ashurbekova K., Ashurbekova K., Saric I. et al. // Chem. Commun. 2021. V. 57. № 17. P. 2160. https://doi.org/10.1039/d0cc07858a
  53. Амашаев Р.Р., Абдулагатов А.И., Абдулагатов И.М., Рабаданов М.Х. Пат. RU 2749573 C9. Опубл. 15.06.2021. Способ получения тонких пленок карбида кремния на кремнии пиролизом полимерных пленок, полученных методом молекулярно-слоевого осаждения.
  54. Амашаев Р.Р., Абдулагатов А.И., Абдулагатов И.М. Пат. RU 2784496 C1. Опубл. 28.11.2022. Способ формирования пленок карбида вольфрама на гетероструктуре вольфрам-кремний пиролизом пленки полиамида, полученного методом молекулярно-слоевого осаждения.
  55. Максумова А.М., Максумова И.М., Абдулагатов И.М., Абдулагатов А.И. Пат. RU 2802043 C1. Опубл. 22.08.2023. Способ получения нанопленок диоксида титана, легированного молибденом, с использованием технологии атомно-слоевого осаждения.
  56. Ежовский Ю.К. // Неорган. материалы. 2019. Т. 55. № 2. С. 117. https://doi.org/10.1134/S0002337X19020039
  57. Оленин А.Ю., Лисичкин Г.В. // Журн. общей химии. 2019. Т. 89. № 7. С. 1101. https://doi.org/10.1134/S0044460X19070163
  58. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю. // Журн. прикл. химии. 2020. Т. 93. № 1. С. 5. https://doi.org/10.31857/S0044461820010016
  59. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю., Кулакова П.И. Химия поверхности неорганических наночастиц. М.: Техносфера, 2020. 380 с.
  60. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю. // Журн. общей химии. 2021. Т. 91. № 5. С. 794. https://doi.org/10.31857/S0044460X21050188
  61. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю. // Изв. АН. Сер. хим. 2020. № 10. С. 1819.
  62. Оленин А.Ю., Коротков А.С., Ягов В.В., Лисичкин Г.В. // Журн. физ. химии. 2021. Т. 95. № 1. С. 107. https://doi.org/10.31857/S0044453721010210
  63. Кулакова И.И., Лисичкин Г.В. // Журн. общей химии. 2020. Т. 90. № 10. С. 1601. https://doi.org/10.31857/S0044460X20100157
  64. Кулакова И.И., Лисичкин Г.В. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 2022. Т. 63. № 6. С. 375.
  65. Кулакова И.И., Переяславцев А.Ю., Лисичкин Г.В. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 2019. Т. 60. № 5. С. 325.
  66. Кулакова И.И., Лисичкин Г.В., Яковлев Р.Ю. Химическое модифицирование поверхности детонационного наноалмаза. М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2019. 94 с.
  67. Яковлев Р.Ю., Мингалев П.Г., Леонидов Н.Б., Лисичкин Г.В. // Химико-фармацевт. журнал. 2020. Т. 54. № 4. С. 29. https://doi.org/10.30906/0023-1134-2020-54-4-29-44
  68. Badun G.A., Chernysheva M.G., Gus’kov A.V. et al. // Fullerenes Nanotubes and Carbon Nanostructures. 2020. V. 28. № 5. P. 361. https://doi.org/10.1080/1536383X.2019.1685982
  69. Соснов Е.А., Малков А.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 9. С. 1104. https://doi.org/10.31857/S0044461821090024
  70. Tolstoy V., Kaneva M., Fedotova N., Levshakova A. // Ceram. Int. 2020. V. 46. № 12. P. 20122. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2020.05.087
  71. Tolstoy V.P., Kaneva M.V., Lobinsky A.A., Koroleva A.V. // J. Alloys Compd. 2020. V. 834. P. 155205. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.155205
  72. Kaneva M.V., Reveguk A.A., Tolstoy V.P. // Ceram. Int. 2022. V. 48. № 8. P. 11672. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.01.025
  73. Толстой В.П., Гулина Л.Б., Мелешко А.А. // Успехи химии. 2023. Т. 92. № 3. RCR5071. https://doi.org/10.57634/RCR5071
  74. Громов В.К. Введение в эллипсометрию. Л.: Изд-во ЛУ, 1986. 192 с.
  75. Tolstoy V.P., Chernyshova I.V., Skryshevsky V.A. Handbook of infrared spectroscopy of ultrathin films. John Wiley & Sons, 2003. 733 p.
  76. Толстой В.П. Введение в оптическую абсорбционную спектроскопию наноразмерных материалов. СПб.: СОЛО, 2014. 187 с.
  77. Соснов Е.А., Кочеткова А.С. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. № 5. С. 3. https://doi.org/10.1134/S0207352819010189
  78. Соснов Е.А., Трубина Т.С., Курдюков Д.А., Малыгин А.А. // Физика и химия стекла. 2019. Т. 45. № 5. С. 458. https://doi.org/10.1134/S0132665119050123
  79. Sosnov E.A., Tsipanova A.S. // Adv. Mater. Sci. Res. 2023. V. 63. P. 119.
  80. Sosnov E.A., Malkov A.A. // Opt. Spectrosc.: Technology, Properties and Performance / Ed. Tomozeiu N. N.Y.: Nova Science Publishers, 2014. P. 149.
  81. Малыгин А.А. // Наноматериалы: свойства и перспективные приложения / Отв. ред. А.Б. Ярославцев. М.: Научный мир, 2015. С. 84.
  82. Zemtsova E.G., Arbenin A.Y., Valiev R.Z., Smirnov V.M. // Titanium in Medical and Dental Applications. Kidlington, UK: Woodhead Publ., 2018. P. 115.
  83. Абдулагатов А.И., Абдулагатов И.М., Абдуллаев Г.О. и др. Нанотехнологии и перспективные наноматериалы. Махачкала: Дагестанский ГУ, 2019. 474 с.
  84. Анализ рынка установок атомно-слоевого осаждения в России. М.: Discovery Research Group, 2018. 46 c.
  85. Atomic Layer Deposition (ALD): Market Size & Forecast Report. 2014–2025. N.Y.: Million Insights Inc., 2017. 92 p.
  86. Atomic Layer Deposition Equipment (ALD) Market: Global Industry Analysis, Growth, Share, Size, Trends, and Forecast. 2023–2031. N.Y.: Growth Market Reports, 2023. 184 p.
  87. Atomic Layer Deposition (ALD). N.Y.: Global Industry Analysts, 2023. 78 p.
  88. Atomic Layer Deposition (ALD) Equipment Market: Global Forecast and Analysis (2023–2029). P. 35272. Maximize Market Research Pvt. Ltd., 2023. 230 p.
  89. Atomic Layer Deposition Equipment Market Outlook (2022–2032). Future Market Insights, 2023. 300 p.
  90. Ritala M., Niinistö J. // ECS Trans. 2009. V. 25. № 8. P. 641. https://doi.org/10.1149/1.3207651
  91. Oviroh P.O., Akbarzadeh R., Pan D. et al. // Sci. Technol. Adv. Mater. 2019. V. 20. № 1. P. 465. https://doi.org/10.1080/14686996.2019.1599694
  92. Ahn J., Ahn C., Jeon S., Park J. // Appl. Sci. 2019. V. 9. № 10. P. 1990. https://doi.org/10.3390/app9101990
  93. Ashurbekova K., Ashurbekova K., Botta G. et al. // Nanotechnology. 2020. V. 31. № 34. P. 342001. https://doi.org/10.1088/1361-6528/ab8edb
  94. Mattinen M., Leskelä M., Ritala M. // Adv. Mater. Interfaces. 2021. V. 8. № 6. P. 2001677. https://doi.org/10.1002/admi.202001677
  95. Fonseca J., Lu J. // ACS Catalysis. 2021. V. 11. № 12. P. 7018. https://doi.org/10.1021/acscatal.1c01200
  96. Xu H., Akbari M.K., Kumar S. et al. // Sens. Actuators, B. 2021. V. 331. P. 129403. https://doi.org/10.1016/j.snb.2020.129403
  97. Zhang J., Li Y., Cao K., Chen R. // Nanomanufacturing and Metrology. 2022. V. 5. № 3. P. 191. https://doi.org/10.1007/s41871-022-00136-8
  98. Robertson J. // Rep. Prog. Phys. 2005. V. 69. № 2. P. 327. https://doi.org/10.1088/0034-4885/69/2/r02
  99. Kittl J.A., Opsomer K., Popovici M. et al. // Microelectron. Eng. 2009. V. 86. № 7–9. P. 1789. https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.03.045
  100. Перевалов Т.В., Гриценко В.А. // Успехи физ. наук. 2010. Т. 180. № 6. С. 587.
  101. Chernikova A., Kozodaev M., Markeev A. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2016. V. 8. № 11. P. 7232. https://doi.org/10.1021/acsami.5b11653
  102. Батурин А.С., Булах К.В., Григал И.П. и др. // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 6 (155). С. 13.
  103. Alekhin A.P., Chouprik A.A., Gudkova S.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol., B. 2011. V. 29. № 1. P. 01A302. https://doi.org/10.1116/1.3533763
  104. Alekhin A.P., Chouprik A.A., Grigal I.P. et al. // Thin Solid Films. 2012. V. 520. № 14. P. 4547. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.10.186
  105. Chernikova A.G., Kozodaev M.G., Khakimov R.R. et al. // Appl. Phys. Lett. 2020. V. 117. № 19. P. 192902. https://doi.org/10.1063/5.0022118
  106. Romanov R.I., Kozodaev M.G., Myakota D.I. et al. // ACS Appl. Nano Mater. 2019. V. 2. № 12. P. 7521. https://doi.org/10.1021/acsanm.9b01539
  107. Markeev A.M., Kozodaev M.G., Slavich A.S. et al. // J. Phys. Chem. C. 2020. V. 124. № 51. P. 28169. https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.0c09769
  108. Romanov R.I., Kozodaev M.G., Lebedinskii Y.Y. et al. // J. Phys. Chem. C. 2020. V. 124. № 33. P. 18156. https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.0c05446
  109. Gismatulin A., Gritsenko V., Perevalov T. et al. // Phys. Status Solidi B. 2021. V. 258. № 3. P. 2000432. https://doi.org/10.1002/pssb.202000432
  110. Королева А.А., Козодаев М.Г., Маркеев А.М. // Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 680. https://doi.org/10.22184/1993-8578.2021.14.7s.680.682
  111. Mikheev V., Chouprik A., Lebedinskii Y. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2019. V. 11. № 35. P. 32108. https://doi.org/10.1021/acsami.9b08189
  112. Mikheev V., Chouprik A., Lebedinskii Y. et al. // Nanotechnology. 2020. V. 31. № 21. P. 215205. https://doi.org/10.1088/1361-6528/ab746d
  113. Koroleva A.A., Kuzmichev D.S., Kozodaev M.G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2023. V. 122. № 2. P. 022905. https://doi.org/10.1063/5.0138218
  114. Алехин А.П., Батурин А.С., Григал И.П. и др. Пат. RU 2472254 C1. Опубл. 10.01.2013. Мемристор на основе смешанного оксида металлов.
  115. Лебединский Ю.Ю., Зенкевич А.В., Маркеев А.М., Егоров К.В. Пат. RU 2524415 C1. Опубл. 27.07.2014. Мемристор на основе смешанного оксида металлов.
  116. Kuzmichev D.S., Chernikova A.G., Kozodaev M.G., Markeev A.M. // Phys. Status Solidi. A. 2020. V. 217. № 18. P. 1900952. https://doi.org/10.1002/pssa.201900952
  117. Koroleva A.A., Kozodaev M.G., Lebedinskii Y.Y., Markeev A.M. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2021. V. 54. № 50. P. 504004. https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac26f6
  118. Барган В.А., Барган П.А., Халявин А.Б. и др. Пат. RU 2444078 C1. Опубл. 27.02.2012. Способ изготовления слоистой наноструктуры для двухобкладочных конденсаторов.
  119. Маркеев А.М., Черникова А.Г. Пат. RU 2528010 C2. Опубл. 10.09.2014. Твердотельный суперконденсатор на основе многокомпонентных оксидов.
  120. Малыгин А.А., Антипов В.В., Малков А.А. и др. Пат. RU 2572816 C2. Опубл. 20.01.2016. Многослойный нанокомпозит для двухобкладочных конденсаторов и способ его изготовления.
  121. Козодаев М.Г., Маркеев А.М., Черникова А.Г. и др. Пат. RU 2609591 C1. Опубл. 02.02.2017. Способ изготовления сегнетоэлектрического конденсатора.
  122. Malygin A.A., Malkov A.A., Mikhaylovskiy S.V. et al. // Membranes for Membrane Reactors: Preparation, Optimization and Selection / Eds. Basile A., Gallucci F. Chichester: John Wiley & Sons Ltd., 2011. P. 357.
  123. Жиляева Н.А., Ермилова М.М., Орехова Н.В. и др. // Неорган. материалы. 2018. Т. 54. № 11. С. 1202. https://doi.org/10.1134/S0002337X18110167
  124. Жиляева Н.А., Елизарова В.И., Миронова Е.Ю. и др. // Журн. неорган. химии. 2023. Т. 68. № 1. С. 96. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600918
  125. Mokrushin A.S., Simonenko E.P., Simonenko N.P. et al. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 463. P. 197. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.08.208
  126. Gorokh G., Bogomazova N., Taleb A. et al. // Sensors. 2021. V. 21. № 12. P. 4169. https://doi.org/10.3390/s21124169
  127. Толстой В.П., Голубева А.А., Коломина Е.О. и др. // Журн. аналит. химии. 2022. Т. 77. № 3. С. 201. https://doi.org/10.31857/S0044450222030112
  128. Arbenin A.Y., Zemtsova E.G., Ermakov S.S. et al. // Mater. Res. Express. 2020. V. 7. № 3. P. 035401. https://doi.org/10.1088/2053-1591/ab77ef
  129. Arbenin A.Yu., Petrov A.A., Nazarov D.V. et al. // Chemosensors. 2022. V. 10. № 10. P. 433. https://doi.org/10.3390/chemosensors10100433
  130. Малыгин А.А., Антипов В.В., Буймистрюк Г.Я. Пат. RU 153476 U1. Опубл. 20.07.2015. Устройство молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон.
  131. Малыгин А.А., Антипов В.В., Кочеткова А.С., Буймистрюк Г.Я. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 1. С. 17.
  132. Ежовский Ю.К. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2021. № 3. С. 66. https://doi.org/10.31857/S1028096021020047
  133. Марков Л.К., Павлюченко А.С., Смирнова И.П. и др. // Физика и техника полупроводников. 2021. Т. 55. № 4. С. 365. https://doi.org/10.21883/FTP.2021.04.50742.9574
  134. Марков Л.К., Павлюченко А.С., Смирнова И.П. и др. // Физика и техника полупроводников. 2022. Т. 56. № 8. С. 825. https://doi.org/10.21883/FTP.2022.08.53153.9856
  135. Кочеткова А.С., Соснов Е.А., Малков А.А. и др. // Журн. прикл. химии. 2019. Т. 92. № 7. С. 827. https://doi.org/10.1134/S0044461819070028
  136. Абдулагатов А.И., Амашаев Р.Р., Ашурбекова К.Н. и др. // Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 1. С. 3. https://doi.org/10.1134/S0544126919010022
  137. Тетюхин Д.В., Козлов Е.Н., Молчанов С.А. и др. Пат. RU 2554819 C1. Опубл. 27.06.2015. Способ получения биоактивного покрытия на имплантируемом в костную ткань человека титановом имплантате.
  138. Тетюхин Д.В., Козлов Е.Н., Молчанов С.А. и др. Пат. RU 2566060 C1. Опубл. 20.10.2015. Биоактивное покрытие титанового имплантата, вводимого в костную ткань человека.
  139. Земцова Е.Г., Морозов П.Е., Смирнов В.М. // Физика и механика материалов. 2015. Т. 24. № 4. С. 374.
  140. Nazarov D.V., Smirnov V.M., Zemtsova E.G. et al. // ACS Biomater. Sci. Eng. 2018. V. 4. № 9. P. 3268. https://doi.org/10.1021/acsbiomaterials.8b00342
  141. Мелешко А.А., Толстой В.П., Афиногенов Г.Е. и др. // Ортопедия, травматология и восстановительная хирургия детского возраста. 2020. Т. 8. № 2. С. 217. https://doi.org/10.17816/PTORS33824
  142. Земцова Е.Г., Морозов П.Е., Смирнов В.М. Пат. RU 2694963 C1. Опубл. 18.07.2019. Способ получения композиционного нанопокрытия на наноструктурированном титане.
  143. Абдулагатов A.И., Амашаев Р.Р., Максумова A.M. и др. // Экологическая медицина. 2019. Т. 2. № 1. С. 96. https://doi.org/10.34662/EM.2019.2.1.96-106
  144. Рагимов Р.М., Маммаев С.Н., Хамидов М.А. и др. Пат. RU 2756124 C1. Опубл. 28.09.2021. Способ улучшения функциональных свойств сетчатых имплантов для пластики грыжевых дефектов.
  145. Рагимов Р.М., Абдулагатов И.М., Абдуллаева Н.М. и др. Пат. RU 2791214 C1. Опубл. 06.03.2023. Способ придания антибактериальных свойств дверным ручкам.
  146. Ященко П.Ю., Бодалев И.С., Малков А.А. // Изв. СПбГТИ(ТУ). 2021. № 58 (84). С. 38. https://doi.org/10.36807/1998-9849-2021-58-84-38-45
  147. Абдулагатов А.И., Ашурбекова Кр.Н., Ашурбекова Ка.Н. и др. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 3. С. 305.
  148. Ashurbekova K., Ashurbekova K., Saric I. et al. // Chem. Mater. 2021. V. 33. № 3. P. 1022. https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.0c04408
  149. Кочеткова А.С., Ефимов Н.Ю., Соснов Е.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2015. Т. 88. № 1. С. 116.
  150. Новожилова Е.А., Малыгин А.А., Рычков А.А., Кузнецов А.Е. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 6. С. 767. https://doi.org/10.31857/S0044461821060116
  151. Ципанова А.С., Соснов Е.А., Кузнецов А.Е. и др. // Журн. общей химии. 2021. Т. 91. № 6. С. 966. https://doi.org/10.31857/S0044460X21060147
  152. Рычков А.А., Рычков Д.А., Кузнецов А.Е. и др. Пат. RU 2523337 C1. Опубл. 20.07.2014. Способ изготовления пленочного электрета.
  153. Рычков А.А., Кузнецов А.Е., Рычков Д.А. и др. Пат. RU 2528618 C1. Опубл. 20.09.2014. Способ изготовления пленочного электрета.
  154. Кочеткова А.С., Соснов Е.А., Ефимов Н.Ю. и др. Пат. RU 2648360 C1. Опубл. 26.03.2018. Электретный материал на основе полиэтилена и способ его изготовления.
  155. Новожилова Е.А., Малыгин А.А., Рычков А.А., Кузнецов А.Е. Пат. RU 2748032 C1. Опубл. 19.05.2021. Способ изготовления электретного материала на основе фторполимера.
  156. Захарова Н.В., Малыгин А.А., Аккулева К.Т. Пат. RU 2798829 C2. Опубл. 28.06.2023. Способ контроля сроков хранения продукции.
  157. Дрозд В.Е. Синтез и исследование оксидных покрытий, полученных методом молекулярного наслаивания на поверхности полупроводников: Дис. … канд. физ.-мат. наук. Л., 1978. 131 с.
  158. Толстой В.П., Кукло Л.И. Пат. RU 2774818 C1. Опубл. 23.06.2022. Устройство для послойного синтеза покрытий из труднорастворимых соединений на поверхности подложек.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download
2. Fig. 1. Dynamics of scientific publications in the world scientific community according to the MN/ASO method [11].

Download (69KB)
Indexing metadata
3. Fig. 2. Countries where research and development of the MN/ASO method is underway [13].

Download (168KB)
Indexing metadata
4. Fig. 3. Schematic diagram of a typical vacuum-type molecular layering unit: 1 - vacuum pump; 2 - trap; 3 - reactor; 4 - heating spiral; 5 - substrate; 6 - thermocouple pocket; 7 - vacuum seal; 8 - vacuum gauge; 9 - secondary device for temperature control and maintenance; 10 - secondary device for pressure control; 11 - sources with reagents.

Download (94KB)
Indexing metadata
5. Fig 4. Automated flow-vacuum installation MN for deposition of functional nanocoatings on optical quartz fibers: 1 - control unit; 2 - reagent source unit; 3 - reactor; 4 - vacuum pump; 5 - trap; 6 - thermoregulator.

Download (169KB)
Indexing metadata
6. Fig. 5. Pilot automated MN unit: a - general view, b - main units of the unit: 1 - touch screen; 2 - automation unit; 3 - reagent source unit with inlet system; 4 - reactor unit; 5 - vacuum pump; 6 - bulk reactor with heaters.

Download (206KB)
Indexing metadata
7. Fig. 6. MN flow-vacuum type unit with a 30-liter reactor: 1 - general view of the unit; 2 - reactor; 3 - reagent supply unit; 4 - automation unit.

Download (331KB)
Indexing metadata
8. Fig. 7. Flow-vacuum-type MS units with slit reactor: 1 - general view of the unit; 2 - slit reactor.

Download (195KB)
Indexing metadata

Copyright (c) 2024 Russian Academy of Sciences